Njira yopangira polysilicon.

1. Kutsegula

Ikani crucible ya quartz yophimbidwa patebulo losinthira kutentha, onjezani zopangira za silicon, kenaka yikani zida zotenthetsera, zida zotenthetsera ndi chivundikiro cha ng'anjo, tulutsani ng'anjoyo kuti muchepetse kupanikizika kwa ng'anjo mpaka 0.05-0.1mbar ndikusunga vacuum. Yambitsani argon ngati mpweya woteteza kuti muchepetse kuthamanga kwa ng'anjo mozungulira 400-600mbar.

2. Kutentha

Gwiritsani ntchito chotenthetsera cha graphite kuti mutenthe ng'anjo yamoto, choyamba sungunulani chinyontho chomwe chili pamtunda wa graphite, wosanjikiza, zopangira za silicon, etc., kenako pang'onopang'ono kutentha kuti kutentha kwa quartz crucible kufikire pafupifupi 1200-1300.℃. Izi zimatenga 4-5h.

3. Kusungunuka

Yambitsani argon ngati mpweya woteteza kuti muchepetse kuthamanga kwa ng'anjo mozungulira 400-600mbar. Pang'onopang'ono onjezani mphamvu yotenthetsera kuti musinthe kutentha kwa crucible kukhala pafupifupi 1500℃, ndipo zida za silicon zimayamba kusungunuka. Sungani pafupifupi 1500℃pa nthawi yosungunula mpaka kusungunuka kwatha. Izi zimatenga pafupifupi maola 20-22.

4. Kukula kwa kristalo

Zopangira za silicon zikasungunuka, mphamvu yotentha imachepetsedwa kuti kutentha kwa crucible kugwere pafupifupi 1420-1440.℃, yomwe ndi malo osungunuka a silicon. Kenako quartz crucible imasunthira pansi pang'onopang'ono, kapena chipangizo chosungunulira chimakwera pang'onopang'ono, kotero kuti quartz crucible imachoka pang'onopang'ono pamalo otentha ndikupanga kusinthana kutentha ndi malo ozungulira; nthawi yomweyo, madzi amadutsa mu mbale yozizira kuti achepetse kutentha kwa kusungunuka kuchokera pansi, ndipo crystalline silicon imapangidwa poyamba pansi. Panthawi ya kukula, mawonekedwe olimba amadzimadzi nthawi zonse amakhala ofanana ndi ndege yopingasa mpaka kukula kwa kristalo kumalizidwa. Izi zimatenga pafupifupi maola 20-22.

5. Kudziletsa

Pambuyo pa kukula kwa kristalo, chifukwa cha kutentha kwakukulu kwa kutentha pakati pa pansi ndi pamwamba pa kristalo, kupsinjika kwa kutentha kungakhalepo mu ingot, yomwe imakhala yosavuta kuswekanso panthawi yotentha ya silicon wafer ndi kukonzekera batire. . Choncho, pambuyo pa kukula kwa kristalo, silicon ingot imasungidwa pafupi ndi malo osungunuka kwa maola 2-4 kuti kutentha kwa yunifolomu ya silicon ingot ndi kuchepetsa kupsinjika kwa kutentha.

6. Kuziziritsa

Pambuyo silicon ingot ndi annealed mu ng'anjo, zimitsani Kutentha mphamvu, kwezani kutentha kutchinjiriza chipangizo kapena kutsitsa kwathunthu silikoni ingot, ndi kuyambitsa lalikulu otaya mpweya wa argon mu ng'anjo kuchepetsa kutentha kwa silikoni ingot pafupi. kutentha kwa chipinda; panthawi imodzimodziyo, kuthamanga kwa mpweya mu ng'anjo kumakwera pang'onopang'ono mpaka kufika ku mphamvu ya mumlengalenga. Izi zimatenga pafupifupi maola 10.